經(jīng)過(guò)近七年艱苦攻關(guān)，“超分辨光刻裝備研制”項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收。這意味著，現(xiàn)在中國(guó)有了“世界上首臺(tái)分辨力最高的紫外（即22納米@365納米）超分辨光刻裝備”。